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苏州半导体车间装修工程设施规划的特殊性与重

来源:中国设备工程 【在线投稿】 栏目:综合新闻 时间:2021-08-24

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【摘要】苏州半导体车间 装饰工程设施规划的特殊性和重要性 半导体制造工艺的特殊性为其制造车间的设施规划带来了特殊性。一般按多层、2--3、 层结构设计。 这首先是由于 半导体净化车间

苏州半导体车间装饰工程设施规划的特殊性和重要性

半导体制造工艺的特殊性为其制造车间的设施规划带来了特殊性。一般按多层、2--3、层结构设计。

这首先是由于半导体净化车间的生产过程中需要使用大量的液体、化学品和净化水,以及 >气体,有一百多个品种。这些气体和液体由布置在车间下层并对应不同工作性能机器的各种气体和液体输送和回收管道供应和回收。

此外还有各种用于电力、空气动力学、照明、控制、通讯等用途的电气管道。各种机器一一对应。布线极其复杂,影响全身。一旦机器在工作层的位置发生变化,就会引起各管道、管道、支管、支线的变化。因此,半导体车间的设备布局一旦确定,一般不会有大的变化。

其次,半导体制造机器极其昂贵,许多机器价值数百万美元,而且它们的性能极其复杂。条件比较苛刻。移动此类设备的位置可能会对设备造成损坏,而因位置变化而对设备进行重新调整也会对人力、物力、财力造成很大的损失。 span> 丢失了。

第三,由于半导体车间的生产过程,硅片对洁净度的要求极其严格,所以需要 尽量减少与外界接触的时间。而且如果设施布局不合理,很容易增加材料处理时间晶圆暴露在空气中的时间也会增加其被污染的可能性,直接导致良率下降。 此外,半导体制造是通过重复氧化、光刻、掺杂等某些主要工艺而制成的。只能在同一台机器上加工一次才能完成,物料搬运所需的时间和成本非常可观。

以上几点正是半导体车间需要专业的工业工程师进行设施布置,使其更加合理和有效的原因。此外,半导体行业正在一个快速增长和周期性变化的市场中运作。企业要想生存,就必须在可接受的制造周期下拥有足够高的产量。工厂建设设计阶段的设施规划布局和物料搬运系统决定了制造周期和生产后的产量。为了找到生产系统的最佳运行效果,必须在设计时优化布局方案


文章来源:《中国设备工程》 网址: http://www.zgsbgc.cn/zonghexinwen/2021/0824/1920.html

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