半导体洁净工程有它的特殊性，? 对于这样的厂房它的特点非常明显， 第一个造价特点贵， 随着半导体工程的发展， 这样对于工厂的品质要求越来越高，TFT 工厂也是一样， TFT 工厂本身的玻璃基板的尺寸越来越大， 从原来的一代线到现在的主流八代线， 随着基本尺寸大造价越来越高。

第二个特点是工期短， 由于半导体工厂， TFT 工厂的特点投资特点大， 所有的建设方尽快短期进行生产， 取得投资回报， 作为施工单位来讲摆在面前的一个特点就是工期要求非常紧。

第三个特点是品质要求非常高， 由于电子工厂它对厂房的依赖程度非常高， 建厂当中的事故直接导致产品良品率的高低， 第四个就是高复杂度， 对于建厂来讲， 专业技术问题是一个非常全面的， 涵盖了多专业、 多行业的问题， 同时还有管理的问题。 第五个特点是高整合度， 对于建厂来讲有这样五个特点。

这是典型的一个半导体工厂或者是 TFT 工厂的剖面图， 我们可以看到他一般分成三个区， 从页面上来讲是三个区， 一个是下界层， 还有一个核心区， 所有的工程设备都在核心区里面， 对于这三个工作面来讲， 对于施工的顺序和内容待会儿和大家简单的做一个介绍。 我们看到这三个图片， 这上面反应有下技术夹层， 主要是管线的布置， 工作层是防止设备的， 还有一个是静压层面。对于关键难点第一个是高空作业， 这是非常明显的工作特点， 对于我们来讲安全、 整个施工的难度都相应非常大， 我们采取分层作业的施工方式， 我们先把地板层做起来， 这样以地板层为界面分为上下两个层面进行施工。

第二个难题就是大面积精度控制， 我们现在随着产业的发展， 往大， 往精细化发展， 单位工

厂我们做得达到 4 万平方米， 这对于精度是一个很大的挑战， 如何进行精度的保证这对于我们实施这样的项目来讲也是高难度的方面， 我们的做法是配置专业的测量人员。 在大面积的情况下把精度控制在实施的要求范围之内。

?第三个难点就是全过程洁净施工控制， 洁净厂房相对其他厂房一个最大的特点就是洁净的管控， 洁净的管控从建厂一开始到最后是全过程的控制， 只有透过全过程的控制才能保证建出来的厂房是合格的厂房。

主要的实施供需给大家做一个介绍， 对于建厂来讲， 对于洁净工程施工来讲我们一般情况下

是根据洁净室的装修作为控制的主线来考虑， 首先我们做得是工作面分析， 工作面我们要求封闭，整个厂房封闭以后才能作为洁净工程的开始， 如果没有封闭的话， 也要采用临时的封闭， 保证我们封闭施工作业。 夹层地板安装完成这个工作面的完成标志着上下两个工作面可以同时展开施工作业。 上面的工作主要是完成风管的安装， 支架的安装等等。 下面的工作主要是工业管线的作业，这样的做法在目前做大面积厂房主流的施工方式， 这个施工方式证明也是非常成功的， 可以有效的解决安全问题， 一个是高空掉落或者上下面的干扰。 我们现在看到的这个图就是分层作业面的

示意图， 当我们活动地板完成以后， 可以分成三个层面作业， 可以保证工作有效的推进。

第四个主要给大家介绍洁净管制方面的内容， 刚才讲到过， 对于洁净工程来说， 相比其他的

洁净工程最大的区别就是要求全过程的洁净管控， 洁净管控主要有五个方面控制， 第一个方面就是进入洁净室施工人员的管制， 因为人是带入厂房里面主要的污染来源。 第二是出入洁净室管制区服装的规定， 第三个是进出洁净室物料的管控， 对于这个部分的控制和人的控制都是我们核心需要控制的内容。 第四个要介绍洁净室内施工管制， 第五个部分就是人员和物料的动线， 我们设

置一个人流的通道口， 这个是唯一的， 通过这个唯一的通道口进入洁净车间。

对于洁净室管理我们公司对于高端的洁净厂房我们把它划分成五个阶段， 第一个阶段是建筑

物施工完成， 将建筑物进行封闭， 如果施工单位没有封闭， 我们会临时进行封闭， 保证厂房是在封闭的空间进行施工， 这样的目的是减少灰尘带入洁净室。 主要的施工内容是对所有产生灰尘的

文章来源：《中国设备工程》 网址: http://www.zgsbgc.cn/zonghexinwen/2021/0305/1143.html